二手 RUDOLPH NSX 115 #9353342 待售

ID: 9353342
優質的: 2008
Wafer defect inspection system, parts machine Missing parts: Odyssey board CCD Turret PC 2008 vintage.
RUDOLPH NSX 115是一種最先進的掩模和晶片檢測設備,旨在確保在制造前沿微電子產品方面的卓越精度和精確度。該系統由高速光學成像單元組成,捕獲掩模和晶圓表面的圖像。該機還集成了一個專有的光學模塊,具有高精度納米級和先進的微圖案對準能力。這樣就可以快速、精確地設置過程優化檢查。NSX 115還配備了高分辨率的optomask托盤,提供可靠的掩模庫和測量數據。高級蒙版編輯功能可針對各種類型的蒙版(包括濺射、蝕刻和平版印刷)實現自動和嚴格的模式匹配。光學成像工具具有廣闊的視野和高速掃描功能,即使是最復雜的結構也能快速可視化。通過高精度45度傾斜調整,資產可以在大面積範圍內運行,而不會影響精度。這允許在廣泛的設備地形中檢查大面積特征,包括對稱和非對稱接觸。RUDOLPH NSX 115進一步配備了全面的晶圓檢查光學器件陣列,使其能夠以精確的解析度成像區域和缺陷特徵。為保證高精度檢測結果,該模型配備了高分辨率圖像捕獲,用於增強晶圓檢測。此外,自動對齊和檢查過程簡化了設置和後續監控活動。NSX 115也適用於各種流程監控應用。該設備旨在檢測過程參數的任何細微變化,包括焦距、光掩模特性和透鏡失真。利用系統的自動圖像捕獲功能,可以實現長期的流程優化和改進。自動選項確保持續監測流程關鍵的結果。RUDOLPH NSX 115除了具有掩模和晶圓檢測能力外,還提供各種顯示器和數據系統之間的卓越連接。高級網絡支持允許遠程查看圖像、報告和數據。這對於從中心位置密切監視關鍵流程參數的遠程團隊特別有用。最後,NSX 115是一個精密的成像工具,用於詳細可靠的掩模和晶圓檢查.其先進的光學模塊、高效的掩碼庫以及先進的圖像捕獲功能,可實現快速的檢查設置和可靠的缺陷檢測。高性能遠程連接還確保了對流程優化和長期收益改進的卓越支持。
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