二手 RUDOLPH NSX 115D #9223806 待售

RUDOLPH NSX 115D是設計用於半導體制造的強大的掩模和晶圓檢測設備。它為制造過程各個階段的質量保證提供了一個全面的平臺。NSX 115D系統使用高分辨率光學器件,在晶圓或掩模級別提供質量控制。它可以快速檢測到任何缺陷,例如缺少的陣列、懸垂的邊緣、斷線或其他關鍵問題。可選的掃描電子顯微鏡（SEM）還提供了自上而下的檢查功能,可以更詳細地查看任何缺陷。RUDOLPH NSX 115D單元還提供了先進的缺陷分類，能夠對類似缺陷進行分組和分析。機器分為三個主要區域，具有三個獨立的階段。第一階段側重於預掃描。這裡得到晶片的影像作進一步的處理。與典型的2D掃描相比,3 D工具可實現更精確的大規模成像效果。這些預掃描圖像也作為進一步比較的基準。第二階段是編輯階段，在此期間對圖像進行編輯和調整，以便進一步優化。在這一階段，各種算法被用於檢測和識別各種缺陷，如顆粒、劃痕、顆粒和裂紋。第三階段是後掃描。經過缺陷分類和分析後，數據被存儲起來供以後使用。此步驟旨在檢測任何潛在的潛在缺陷,並確保階段之間的晶圓或掩碼沒有變化。總體而言,NSX 115D工具為晶圓和掩碼的質量控制和分析提供了一個全面的平臺。該資產具有出色的光學性能、先進的缺陷分類和3D處理功能,是半導體制造質量保證的理想選擇。