二手 RUDOLPH NSX 115D #9260018 待售

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ID: 9260018
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
Automatic defect inspection system, 12" Vacuum chuck lift pin damaged 2009 vintage.
RUDOLPH NSX 115D是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備,設計用於識別半導體制造過程中的汙染、表面缺陷和其他不規範之處。該系統提供一流的自動化性能,具有一個光源,該光源具有4.7kW的氙燈、可編程光學器件和一個具有高分辨率CMOS傳感器的成像單元。在高達1K x 2K像素的總視場下,機器可以檢查掩碼和晶片是否具有小至5 μ m的特征。NSX 115D采用了獲得專利的SSR (Su-Pixel Response)圖像處理技術,允許100%像素級晶圓和掩碼缺陷檢測。它利用基於圖像的計量工具,僅需幾分鐘的實際操作時間即可快速識別和測量特征和缺陷。該資產還配備了多種軟件應用,包括WaferMask,一種掩模/標線檢查工具;WaferMarker,一種自動晶圓檢查工具;WaferMapper,一種映射/聚焦工具。所有這些應用程序都可以通過直觀的圖形用戶界面(GUI)訪問。此外,RUDOLPH NSX 115D支持多種數據輸出格式,如TIF、BMP、JPG和PDF。它還具有可選的OCR(光學字符識別)ID閱讀器,可以識別晶圓或掩碼上的各種類型的文本和符號。該型號還配有包括可調節照明臺、真空棒、自動晶圓掃描和加載以及多個攝像頭位置在內的綜合硬件支持包。NSX 115D是自動檢測掩模和晶片特征和缺陷的理想工具。憑借其全面的硬件和軟件包,它提供了一流的性能和可靠性。它對多種數據格式的支持確保了它易於集成到任何半導體制造過程中。這使得RUDOLPH NSX 115D任何需要自動檢查和診斷掩模和晶圓檢查的半導體工藝的理想選擇。
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