二手 RUDOLPH NSX 115D1 #9260012 待售

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ID: 9260012
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
Automated defect inspection system, 12" 2009 vintage.
RUDOLPH NSX 115D1是一種高科技掩模和晶圓檢測設備,設計用於提供準確可靠的光掩模/標線對準和精度。該系統包括兩個獨立驅動的用於掩模或晶圓操縱的XY級,允許高速對準,不同放大率的各種鏡頭選項,精確的角度測量和居中,以及其他確保檢查過程最高精度的功能。NSX 115D1能夠高速、精確地檢查各種口罩和晶片。該單元具有X軸和Y軸兩個運動軸,可提供高達600mm × 800mm的動態圖像捕獲範圍。該機能夠對集成電路制造過程中使用的各種光掩模和標線進行精確定位和高精度對準。除了兩個運動軸之外,RUDOLPH NSX 115D1還提供了多種不同放大倍率的鏡頭選項,從1/3X到16X。這為用戶提供了以高放大倍率檢查晶片和掩模的靈活性,同時保持最高精度水平。該工具還可以測量高達一度的角度偏差精度,從而確保被檢查的掩模或晶片更精確的對準。為了確保最高的準確性和可靠性,NSX 115D1包括自動聚焦和後測量功能。自動聚焦功能利用氣動資產自動獲得最佳圖像視圖。這樣可以確保穩定和準確地確定掩模和晶片之間的最佳匹配對齊方式。同時,後測量功能提供了一個多參數報告,可以保存和訪問該報告以供審查和/或將來參考。最後,RUDOLPH NSX 115D1包括其他功能,可讓用戶輕松操作。其三維觸摸屏顯示為簡單的導航提供了描述性直觀的用戶界面。該模型還提供全面的培訓計劃,包括現場和在線課程,為用戶提供操作NSX設備並有效排除故障的知識。總體而言,NSX 115D1掩碼和晶片檢查系統是高精度和可靠的光掩碼/標線對準和準確性的理想解決方案,為用戶提供了一種簡單有效的方法來檢查和對準掩碼和晶片。
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