二手 RUDOLPH SWS #9378745 待售

RUDOLPH SWS是來自RUDOLPH Technologies, Inc.的最先進的掩模和晶圓檢驗系統。該系統設計用於半導體織物，它為具有挑戰性的掩模和晶圓檢驗任務提供了一個自動化的解決方案。SWS將復雜的照明和光學技術與先進的軟件算法相結合,以檢測晶片或掩模中可能導致制造過程中產生問題的任何缺陷。掩模&晶片檢驗過程的第一階段是晶片掃描，利用機械臂在晶片表面快速準確定位相機，同時收集反射率、表面地形、表面與掩模之間的結合能量等數據。這個晶圓的初始掃描產生了一個詳細的映射，可以用來檢測表面的任何潛在缺陷。掩模和晶片檢查過程的第二階段檢查掩模本身是否有故障或不規則性。面罩正面朝下放置在桌子上，專門的攝像機掃描圖像是否有異常。這是用反射光和顯微鏡的混合物完成的，以確保即使是最微小的缺陷被檢測到。掩模和晶片檢查過程的第三階段需要對掩模和實際晶片進行比較。RUDOLPH SWS使用精密的軟件算法來比較這兩個圖像，並檢測掩碼的外觀和實際晶片的外觀之間的任何差異。如果發現任何差異，SWS能夠突出故障並通知需要註意的人力檢查員。最後，第四階段的掩模和晶片檢查需要審查結果。RUDOLPH SWS能夠生成掩碼和晶片檢查過程的詳細3D報告,從而詳細概述已確定的任何問題。這有助於人工檢查員快速確定他們可能需要解決的任何問題,使他們能夠深入了解制造過程並幫助提高產量。SWS是一個令人印象深刻的系統,它允許半導體制造商自動執行其掩模和晶片檢查過程,並以比手動檢查高得多的精確度概括整個晶片。這為優化制造工藝和提高產量提供了一個絕佳的機會。