二手 RUDOLPH Waferview 320 #9234643 待售

RUDOLPH Waferview 320是一種高分辨率的掩模和晶圓檢測設備，設計用於高級內聯缺陷檢測任務。該系統提供獨特的功能組合,便於對具有優良特性尺寸的掩模和晶片進行自動化、高吞吐量的質量檢查。該單元由明亮、高保真的7微米像素分辨率CCD相機與19/18/12um NA雙軸照明列車配對供電。這使得晶圓和掩模檢查精度非常清晰。該機還具有直觀的晶圓操控和六軸機器人對準，提升了機器人和晶圓定位的靈活性和多功能性。檢測算法包括多種晶圓檢測技術，包括地形圖、自動對焦、缺陷映射、特征差異化、快速走/不走。這些算法得到了全面的數據庫集成和內置缺陷跟蹤工具的補充,該工具可以在幾分鐘內檢測晶圓形狀、特征和紋理的細微差異。Waferview 320還具有優化的光路,可利用和控制全方位的圖像細節,確保從邊緣到邊緣的全覆蓋。這允許業界領先的檢測各種缺陷,從大規模缺陷到細膩的、幾乎看不見的缺陷。此外，該資產還具有一個自動的空白循環和模式識別過程，可隨時評估過程質量，並將檢測到的缺陷映射到與過程相關的坐標中。模型構造堅固、模塊化，最大限度地減少機械振動，確保平臺穩定。機械和光學數據緊密集成在一個不可分割的單元中，允許用戶通過不處理多個獨立的部件來節省時間。總體而言，RUDOLPH Waferview 320掩模和晶圓檢測設備是任何工業應用的強大而可靠的工具。它具有全面的功能,允許用戶有效地檢測和檢查缺陷,並具有直觀的設計,可幫助改善工作流程。通過將其世界領先的分辨率、精確度和準確性與堅固的模塊化設計相結合,該系統將確保簡化檢查並保證高質量的結果。