二手 RUDOLPH WV 320 #9183381 待售

RUDOLPH WV 320是由RUDOLPH Technologies開發的線型Mask and Wafer Inspection設備的頂部。該系統設計用於研究、開發和制造下一代半導體和光電子。RUDOLPH WV320具有使用彩色CCD攝像機的高級檢查功能以及最新的專有面罩審查算法。該設備具有按人體工程學設計和可配置的操作員界面，用於評估掩蔽和晶圓檢查操作。自動化和傳感器根據預定義的作業設置管理檢查參數的更改,從而能夠快速準確地獲取數據。該機還配備了雙輸出光束和偏轉光學器件，允許同時成像同一個標本的兩個部分，同時保持銳焦。雙光束光學器件有助於確保樣品不同部位的精確粒子和塵埃檢測。顯微鏡還提供高達3倍的可變放大倍率，確保各級細節的精確檢查。WV 320還具有先進的邊緣檢測算法，使其能夠準確檢測掩模和晶片上的缺陷和顆粒。邊緣檢測算法可以檢測尺寸小至0.2µm的不規則性，允許準確的缺陷表征和報告。該工具還能夠比較缺陷圖像並突出顯示隨時間變化,從而使用戶能夠有效地跟蹤進度。WV320具有亮場照明、暗場照明、偏振照明等可選功能。這些選項增加了顆粒和缺陷之間的對比和區別，確保了準確的檢測。多通道彩色相機允許在多個彩色通道中同時成像，允許用戶生成與粒子分布和尺寸相關的高級度量。RUDOLPH WV 320是半導體制造、可再生能源研究和其他光電應用的理想選擇。適用於高分辨率成像和缺陷/粒子檢測操作。其獨特的特性，如多通道彩色成像、邊緣檢測和無標簽圖像分析，使其成為對掩模和晶片進行準確可靠檢測和檢查的寶貴工具。