二手 RUDOLPH WV 320 #9247834 待售

RUDOLPH WV 320是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於快速準確地檢測半導體掩模和晶片。隨著半導體設計的日益復雜,具有更密集和更精細的特征尺寸,掩模和晶片檢驗系統對於確保產品的最高產量和質量至關重要。RUDOLPH WV320配備了1600萬像素、高速20位圖像傳感器和鍍鋅掃描鏡技術，支持快速高效的缺陷掃描。該系統支持200 mm x 200 mm的最大視野,以最大每秒120 mm的掃描速度優化檢查操作。憑借WV 320的深度聚焦能力，它甚至可以檢測到晶圓或掩模中最小的缺陷，無論是在視場邊緣還是晶圓底部。該單元還具有寬帶檢測濾波器、全向自動校準和三維深度推導，以獲得最佳成像結果。這使得機器甚至可以檢測到最難以檢測的缺陷，如針孔、短褲、隔離缺陷等。此外,該工具還支持各種檢查方案,從2D-to-3D協調缺陷檢測、前端/後端芯片對齊到橫截面地形分析,以及模模對比。為了最大程度地提高可靠性和效率,資產還具有熱/冷非易失性RAM,以及用戶友好的GUI和數據存儲,用於可重復的晶圓/掩碼分析。此外,該模型還可與多種成像軟件配合使用,包括RUDOLPH MaskControl、全面的功能豐富的掩碼以及缺陷分析和檢查包。WV320與其他RUDOLPH掩模和晶片檢驗系統相結合,通過快速、準確的晶片/掩模分析提供先進的檢驗,達到現有的最高產量並確保最高的質量和可靠性。