二手 RUDOLPH WV 320 #9248810 待售

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ID: 9248810
晶圓大小: 12"
Macro defect inspection system, 12" (2) BROOKS Loadports with FOUP Loadports carrier reader: RFID Type YASKAWA Robot Light source: Head: 20 um Xenon flash lamps Wavelength range: 480-750 nm Resolution: Above 25 um Function: YVS Server 3D Defect image generation Auto Defect Classification (ADC) function.
RUDOLPH WV 320是一種自動化的掩模和晶圓檢驗設備。它被設計用於半導體制造過程中,以檢測和最小化晶圓加工中的缺陷。該系統有助於降低生產成本和提高產品質量。該單元是基於先進掃描成像技術的3軸掩模和晶圓檢測機。它包括一個先進的自動化級機構,具有強大和精確的二維掃描功能,以及放大控制工具。該資產能夠執行各種自動掩碼和晶圓檢查。它可以檢測到模式差異、顆粒等表面不規則等亞微米缺陷。該模型還能夠檢測由汙染物或杜魯巴錯誤檢查引起的晶片印刷缺陷。設備可以根據要檢查的晶片類型掃描200毫米至400mm之間的區域。集成放大控制系統允許實時精確縮放和旋轉圖像,以提高檢查精度。先進的屏幕測量功能允許操作員使用易於使用的鼠標單擊來精確測量缺陷大小。該單元還配備了提供4K分辨率的True Color Display,可提供更豐富、更詳細的圖像。該機器方便用戶,易於操作和維護。該工具具有直觀的用戶界面,並帶有大量預先配置的設置庫,如示例模式、照明設置、測量標準和掩碼接受標準。這允許快速、準確的設置時間和最佳的控制。資產還具有內置的FITS功能,能夠存檔和跟蹤檢查工作。此功能使操作員能夠以數字形式存儲數據,並快速調用缺陷進行比較。RUDOLPH WV320掩模和晶片檢驗模型是確保晶片生產的最高精度和可重復性的有效解決方案。其先進的自動化級機構、放大控制設備、直觀的用戶界面和堅固的True Color Display可為要求最苛刻的半導體應用提供無與倫比的質量控制。
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