二手 RUDOLPH WV 320 #9248814 待售

RUDOLPH WV 320是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，確保高精度和高分辨率的3D圖像可用於掩模和晶圓的檢測。它配備了先進的光學器件和一系列的微微成像元件，可以用來檢查各種各樣的掩模和晶圓幾何形狀。該系統先進的光學單元包括自動變焦機構和偏振濾波器，完全可調，可用於檢測微妙的缺陷和檢查亞微米粒子或電路幾何形狀。其精密的3D成像機捕捉到高達17毫米大小的檢查區域的高分辨率結果。RUDOLPH WV320具有強大的圖像處理和分析功能,能夠檢測和測量微孔、刮痕和異物等細微缺陷,精度高達10nm。利用其內置的晶圓對準功能，在同時檢查多個晶圓截面時也能準確對準樣品。此外,WV 320還具有多項高級功能,可實現高效、快速的掩模檢查。它與大多數行業標準CAD系統兼容,並且可以通過線路掃描生成高保真3D模型,以便檢查大型掩碼和復雜結構。該工具可以配備iScan激光資產，能夠每秒產生256次非接觸式激光掃描，允許高通量的3D掃描和成像。此外，模型的動態圖像跟蹤設備（DITS）可以在掩模檢查時調整焦點和曝光設置，以保持恒定的圖像質量。一個組合的掩模和晶圓檢測系統，WV320提供了卓越的性能，可靠性和準確性。它為用戶提供高達3C的測量、更好的過程控制和全面的分析,以提高產量和質量。對於要求在面罩和晶圓檢測中準確性和可重復性的客戶來說，這是理想的選擇。