二手 RUDOLPH WV 320 #9373222 待售
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RUDOLPH WV 320掩模和晶片檢測設備是一種用於晶片和半導體掩模快速準確計量的檢測解決方案。該系統由一個光機組件、一個攝像頭和軟件組成,為用戶提供可靠、可復制和自動化的測量。該單元能夠用二維柵格掃描測量晶片和掩碼,並且可以通過電動級移動晶片和掩碼高達50微米。該機配有超高分辨率CCD相機,可提供高精度的計量測量。它具有可調視場,用戶可以將相機從3.2mm移動到63mm。相機支持多種圖像采集模式,如一維、二維和感興趣的區域掃描。軟件套件為用戶提供一系列功能來管理測量過程。軟件套件包括晶圓數據模型編輯器、數據采集模塊、計量模塊和自動化模塊。數據可以在所需的變化中獲取,如3x3網格掃描、線性掃描或逐行掃描。數據采集模塊允許從多種來源導入數據,包括光掩碼、晶片、CAD繪圖和光譜。計量模塊提供了易於使用的用戶界面和產量分析。自動化模塊允許用戶編程和自動化叠代測量的測量過程,例如3D網格掃描、空間掃描和缺陷檢測。RUDOLPH WV320掩模和晶片檢測工具是一種功能強大且可靠的半導體掩模和晶片檢測解決方案。該資產使用超高分辨率CCD攝像頭和高級計量軟件提供精確和可重復的測量,從而實現自動計量和缺陷檢測。該模型設備齊全,能夠處理具有實時用戶反饋和自動數據采集功能的復雜檢查項目。該設備快速、準確和可靠,為用戶提供了一個有效的工具來檢查和驗證半導體掩模和晶片。
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