二手 OMICRON SVT 440 #9388547 待售
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ID: 9388547
Molecular Beam Epitaxy (MBE) System
Substrates, 3"-4"
CTI 8500 Compressor
OMICRON System controller
OMICRON 562 Motor controller
INFICON EIES IV
VIEETECH VP 052S
THERMONICS SEB15
GP 303
(2) THERMONICS Sources
SVT Model 1200
LAKESHORE 218
EMS300-16
(2) PERKIN ELMER Digital 1500
(2) PERKIN ELMER Cycle control.
OMICRON SVT 440是一種分子束外延(MBE)設備,用於在分子水平上生長高品質的結晶薄膜材料。該系統具有原位快門組件、四口袋源、光機靜止室和粒子過濾器。該組件設計為在大面積上提供一致、高質量的薄膜沈積,處理時間最短。它有一個容量高達150毫巴,溫度範圍為100至400°C的真空室。該單元允許在等離子體蝕刻和沈積過程中精確控制基板加熱溫度和電子轟擊,可用於半導體、氮化物、氧化物、金屬氧化物、碳納米管和介電層等多種應用。腔室具有較大的視野,允許在制造過程中精確沈積和對準。SVT 440還配備了用於氮摻入的RF等離子體源,以及全天候控制溫度的閉環冷卻機。它是現有最可靠的薄膜沈積系統之一,已被證明具有極好的均勻性、可重復性和可重復性。該工具具有用戶友好的觸摸屏界面,具有多語言支持和軟件,允許對復雜的工藝配方進行編程,以優化沈積精度。它擁有一個綜合安全資產,通過持續監測確保可預測和可靠的操作。OMICRON SVT 440是尋求在分子水平上沈積具有可重現特征的高品質薄膜的人的絕佳選擇。SVT 440具有先進的加熱溫度、電子束和精密沈積能力,是一種經濟高效、可靠的薄膜沈積在多種底物上的模型。
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