二手 OXFORD VG 80 #9121715 待售

OXFORD VG 80是用於III-V復合半導體結構生長的高性能分子束外延（MBE）設備。利用先進技術，專門為專門材料的沈積設計，對層厚、摻雜水平、組成和界面進行精確控制。該系統包括兩個主要組件：源室和生長室.源室裝有MBE級積液電池、離子槍、百葉窗等部件。這些經過優化的超高真空組分提供極其精確的蒸汽通量，以控制沈積在基板上的質量。通過使用幾種來源，用戶可以實現對定制材料層組成和摻雜的高水平控制。該單元的第二個部件是生長室，由溫度範圍為300°C-900°C的高溫壓板和精密的自動基板處理機組成。該工具提供了監測薄膜和微結構原位生長的能力。此外,還提供精確的RHEED資產,使用戶能夠實時監控膠片的增長。該型號還配備了Load Lock設備，用於樣品引入真空室。這確保了平穩高效的樣品裝卸過程。總之，VG 80是優化的III-V復合半導體結構和材料生長的通用平臺。它的組成部分能夠精確控制材料屬性,從而使用戶能夠創建適合其確切需求的專用材料。因此，OXFORD VG 80系統是半導體行業研究人員的寶貴工具。