二手 RIBER 32 #9260374 待售
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已售出
ID: 9260374
System
GaAS
Includes:
Pumps: Ion and cryo
Vacuum chambers
Sample manipulators
Substrate components
Modutrac transfer systems
Does not include:
Turbo pump
Turbo controller
Power supply
Compressor.
RIBER 32是一種分子束外延(MBE)設備,一種用於生長半導體材料原子層的薄膜沈積技術。該系統非常適合現代半導體生產需求,提供了靈活性、溫度控制和廣泛的可用化合物。32采用獨特的設計,采用兩個獨立的真空室,由一個運輸單元連接。這使得MBE反應堆能夠與機器的其余部分分離,減少殘留汙染,保持清潔的生產環境。該工具還配備了一個特殊的加熱資產,支持從室溫到1000 °C的基板溫度。基板支架的運動由步進電機模型控制,使基板處於均勻沈積的理想位置。這些電動機與演化(EV)流控制器耦合,精確調節腔內的源。這樣可以確保穩定的環境和一致的結果,無論配置如何。RIBER 32設備的核心是其高溫積液電池,使高質量層的可靠生產成為可能。細胞也能夠被精確調諧和修改,使它們能夠適應不同的需求。此外,該系統包括一個石英天平和一個板載泄漏閥,這讓用戶調節室內的大氣壓力。32個單元可以配置和定制各種源插件、葉片、擋板和屏蔽,它具有模塊化設計,包含了廣泛的沈積過程。這使得它能夠生產出多種材料,包括含有鋁、砷、硼、移植物的化合物。總體而言,RIBER 32是一款功能強大且用途廣泛的MBE機器。憑借其溫度控制、可調節的大氣壓力、先進的電機控制,以及各種各樣的可用化合物和可定制附件,它為各種半導體生產需求提供了無與倫比的多功能性和靈活性。
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