二手 RIBER 32P #9309553 待售

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製造商
RIBER
模型
32P
ID: 9309553
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system Source: In, Ga, Al, As Phase separator.
分子束外延(MBE)是一種在底物上合成沈積薄膜的方法。RIBER 32P設備是一種高性能的MBE系統,旨在提供厚度精確、結晶度優良、缺陷低的外延層(薄膜)。該單元由高真空室、積液池、渦輪分子泵、百葉窗、源材料百葉窗、超高真空(UHV)傳遞室等幾個組件組成。高真空室作為基板支架的面積,而積液池則用來蒸發原料。然後通過渦輪分子泵將原料運輸並沈積到基板上。一旦沈積完成,可以用快門將基板與腔室隔離。其他百葉窗可用於釋放額外的源材料進入高真空室。特高壓輸送室還提供了一個隔離環境,可靠地將基板送入和送出高真空環境,並且可以被安全密封,以10-9毫巴的分壓氣體環境保護不斷增長的外延層。該機還包括液氮冷卻軸上反射高能電子衍射(RHEED)工具、自動化互鎖安全資產、光譜能力、用於精確操縱溫度的加熱和冷卻元件、動態壓力控制程序、計算機控制和數據采集模型以及手動控制設備等附加組件。RHEED系統由電子槍和檢測器組成,實時監測基板結晶度和不斷增長的外延層。光譜功能使用戶能夠研究外延層的各種特性,如吸收和反射率。加熱和冷卻元件可以精確操縱-40°C至+900°C的溫度。動態壓力控制單元用於保持高真空室內的壓力穩定。計算機控制和數據采集機提供實時工具監控。最後,手動控制資產為用戶提供了對模型參數的更大控制。總之,32P分子束外延(MBE)設備是一種先進的多功能系統,可提供精密的外延層薄膜生長,具有優良的結晶度、低缺陷含量和精密厚度。它的附加組件為用戶提供了更強的控制和監控能力,使其成為合成和沈積外延層的通用單元。
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