二手 RIBER 49 #9193092 待售

分子束外延（MBE）是真空沈積過程的一種，用於制造具有精確層材料的薄膜。RIBER 49是一種MBE設備，用於沈積半導體元素、合金和化合物，如砷化氙、磷化銨和氮化​​的，用於光電元件。49使用閉腔源，容納兩個電子束蒸發器和三個不同的積液電池的出口。兩個電子束源用於沈積具有高氣壓的金屬和其他材料，三個積液池各用於單個成分的沈積。該系統還包括離子源、石英晶體厚度監測器、樣品加熱級和殘留氣體監測器。此外，RIBER 49還可以連接到光譜儀，以確定被沈積物質的組成。49使用磁助光束單元將材料指向基板表面。磁鐵用於減少光束的擴散，讓使用者控制沈積膜的組成和厚度。材料加熱蒸發，基板加熱，減少沈積膜中的缺陷數量。一旦材料沈積到基板上，層的厚度由石英晶體厚度監測器控制。這臺儀器使用石英晶體監測光束下方基板的振蕩，調節沈積在基板上的材料量。基板也可以利用樣品加熱階段來操縱，這使得基板可以在腔室中再次傾斜、移動和傾斜，以便對材料進行精確沈積。一旦物料妥善沈積，殘留氣體監測儀可用於檢查沈積室中外來顆粒的汙染程度。這樣可確保只沈積所需的層,並從最終產品中消除任何缺陷。RIBER 49是一臺先進的精密MBE機器，主要用於制造半導體元件以及具有精密層的光電器件。它可以方便地沈積金屬和非金屬材料，能夠量化材料成分和層厚，是生產優質光電零件的理想選擇。