二手 RIBER 49NT #9103304 待售

RIBER 49NT是為半導體材料和器件研發而設計的分子束外延（MBE）設備。它是一個分子水平的沈積系統，一次將一個原子沈積在基質表面上，形成結晶材料的薄層。該單元由沈積源、自動快門機和射頻等離子體源組成。該工具有兩個模塊，包含兩種不同類型的積液細胞，以同時沈積多個產物。主要成分由四個Knudsen電池（K-cells）組成，用於Ga和Al的順序沈積，作為III-V基團半導體材料的構件。第二個模塊包含兩個Knudsen電池（C-cells），其中Te、Sb、In被沈積以形成II-IV型合金和合金。提供了一個自動射頻快門設備，用於控制三-V和二-IV材料按任何所需順序沈積的快門。高壓射頻等離子體源有助於降低基壓，提高晶體質量。設備中內置了原位晶體生長監測模型。安裝在腔室中的AFM用於監控晶體在符文中的生長,以便進行質量控制。該系統還允許在晶體生長過程中控制晶體取向（歐拉）。此外，封裝還為樣品的熱、光、光和電特性提供了排氣裝置。該機設計用於超高真空，底壓<5 x 10-11 Torr。工具的溫度範圍介於RT和1000˚C之間；一個超高真空加熱器有助於達到1000˚C的溫度。該資產還配備了用於在模塊之間傳輸晶圓的機械臂。49NT用於需要開發和研究半導體材料和器件的各種行業。它是研發項目的重要工具，被認為是市場上最先進的MBE系統之一。