二手 RIBER EVA 32 #9197264 待售

RIBER EVA 32是一種先進的分子束外延（MBE）系統，用於將包括III-V、II-VI在內的優質無機材料和氧化物外延生長到底物上。它能夠對材料的生長結構進行原子和表面控制。EVA 32配備了多個、獨立、最先進的腔室，旨在為各種異質結構和納米結構的外延生長提供最大自由度。該系統是由幾個超高真空模塊組成的陣列，每個模塊都裝有高精度、低溫電阻加熱器。個別模塊包括主源腔、兩個積液池、兩個紫外線光源和獨立的溫度控制器。在這些模塊中的每一個中，可以控制不同的生長參數，以允許納米結構的精確生長。主源室是包含生長表面和源材料的主室。基板支架與源室熱耦合，由高精度、低溫電阻加熱器加熱。主源腔設有傳感器，用於測量溫度、壓力、成分、生長速率等各種參數。兩個積液池安裝在主源室，用於物料蒸發。細胞垂直於生長表面定位，能夠覆蓋整個表面。在MBE生長的情況下，積液細胞含有用作外延過程的原料。兩個紫外線光源安裝在主光源腔內，垂直於生長表面，傾斜角度可調。這些光源可以提供廣泛的能量強度，以操縱生長條件。溫度控制器用於調節主源室內部基板和材料的生長溫度。這些控制器是電阻加熱器，可設置在300至800攝氏度的溫度下。加熱器經過微調，以實現精確的溫度控制，並提供所需的生長條件。RIBER EVA 32是一個專用的MBE系統，可以幫助執行異質結構和納米結構的高度控制制造。其多模塊和參數的精確控制為優質材料的生產提供了極致的靈活性。