二手 RIBER / SEMICON VG80-H #293818636 待售

RIBER/SEMICON VG80-H是一種最先進的分子束外延（MBE）設備,用於半導體器件制造中各種材料的外延層的精確生長。該系統提供先進的特性和功能,使其成為研發實驗室和半導體制造設施的首選。RIBER VG80-H單元配備了多個超高真空（UHV）腔室，為外延生長過程提供受控環境。機器由幾個關鍵部件組成，包括用於蒸發源材料的積液池、用於精確定位基板的基板支架，以及用於實時分析生長過程的現場監測工具。SEMICON VG80-H工具的顯著特點之一是其高度自動化和精確控制。該資產配備了先進的軟件和硬件組件，允許使用子單層控制對薄膜層進行精確沈積。這種精度水平對於制造具有特定光學、電氣和結構特性的復雜半導體結構至關重要。VG80-H模型中的積液池被設計用來加熱和蒸發固態源材料，例如銨、砷、氙和鋁。這些電池在高溫下工作，由精密的溫度控制器控制，以確保蒸發原子在基板表面的穩定和均勻通量。精確控制通量對於實現所需的外延層組成和厚度至關重要。RIBER/SEMICON VG80-H設備中的基板支架為外延生長過程中的半導體晶片定位和加熱提供了一個穩定的平臺。支架配有溫度傳感器和加熱器，可精確控制基板溫度。將基板保持在最佳溫度對控制外延層的結晶結構和質量至關重要。集成到RIBER VG80-H系統中的現場監測工具能夠實時描述增長過程。反射高能電子衍射（RHEED）和光譜橢圓偏振法等技術可以提供關於生長薄膜的表面結構、厚度和光學性質的寶貴信息。這種實時反饋使操作員能夠調整增長參數，並針對所需的材料屬性優化外延增長過程。SEMICON VG80-H單元還配備了綜合安全機器，以確保MBE工藝的可靠高效運行。該工具包括互鎖、壓力傳感器和防止設備損壞並確保操作人員使用資產安全的熱保護機制。總體而言，VG80-H MBE模型是一個通用可靠的平臺，可用於各種半導體應用的高質量外延層的增長。其先進的功能、精確的控制能力和實時監控工具使其成為尋求為下一代電子產品開發創新材料和設備的研究機構和半導體公司的理想選擇。