二手 VARIAN / VEECO GEN 200 #293602410 待售
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VARIAN/VEECO GEN 200是為了先進的納米加工能力而設計的分子束外延（MBE）設備。該系統設計用於生產高質量的材料薄膜，具有卓越的控制和精度。它是一種通用工具，可用於從電子和光電器件到超導量子器件等多種應用。VEECO GEN 200是一個多室沈積單元。它由載荷鎖、加工室和平臺室三個主要腔室組成。負載鎖用於安全地將基板和樣品送入和送出機器。它配備了自動充卸電工具。該工藝室負責實際沈積，分為三個獨立的區域：基板操縱區、汽化區和排氣區。基板操縱區設有溫控托盤，用於穩定基板溫度控制。汽化區設有兩個射頻（RF）源，用於生產薄膜沈積所必需的蒸氣物質（或前體）。排氣帶包含用於去除任何揮發性化合物的泵和過濾器。平臺室作為引導和堆積基板的中間緩沖室，還配備了自動裝載資產和溫度控制模型。VARIAN GEN 200 MBE設備允許精確控制影響薄膜生長的參數。這些包括底物的溫度，反應氣體的壓力和組成，以及傳入物種的通量。這是通過獨立的溫度控制器、流量控制器、壓力和質量流量控制器以及其他工藝參數的組合來完成的。該系統還具有強大的數據采集軟件包，能夠實時監測數據和控制各種工藝參數。此軟件包包括一個適用於各種MBE流程的綜合操作單元,以及用於數據分析的高級繪圖工具和實用程序。GEN 200已成功用於制造高性能光電電子器件，成為廣泛領域研究和產品開發的熱門工具。其卓越的功能和多功能性使其成為各種應用程序的有用工具。
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