二手 VARIAN / VEECO GEN 2000 #9064832 待售
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VARIAN/VEECO GEN 2000是一種用於制造高端半導體材料的分子束外延(MBE)設備。這種VEECO系統為用戶提供了一種高精確度的高質量薄膜原子薄層生長方法。這允許增強半導體屬性控制和設備性能。MBE過程從一束高溫分子粒子穿過管子開始,在管子裏它與一種基材相互作用,將均勻、原子薄的材料層沈積到表面上。這個VARIAN單元配備了一套先進的組件,每一個組件的設計都是為了降低汙染風險,控制增長速度,產生均勻的層。這包括高純度碳弧燈源、能夠對基板進行全球轟擊的電子槍、具有獨立加熱和冷卻能力的10區爐以及用於生長控制的多種氣體等特點。VARIAN/VEECO機器用途廣泛,可以根據用戶的要求進行編程。它提供從超低功率到高功率的可變功率強度,跨越短時間到長期運行,並允許不同材料層在廣泛的溫度範圍內增長。它還能夠提供出色的基板方向控制和運動系統,能夠沿著生長平面應用均勻的基板運動。VEECO GEN 2000的數據采集系統還為用戶提供了對其薄膜層前所未有的控制,提供了有關增長率和偏離理想工藝參數的準確實時數據。VEECO工具界面集成了一個大型的交互式圖形顯示、軟件控制的通信以及多個數字輸入和輸出,讓用戶完全控制自己的流程。綜上所述,VARIAN資產VARIAN GEN 2000為高端半導體材料的發展提供了無與倫比的精確度和準確性。廣泛的組件,加上先進的數據采集和可編程功能,為用戶提供了對薄膜層增長的完全控制,以提高設備性能。
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