二手 VARIAN / VEECO GEN II #9215068 待售

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ID: 9215068
MBE System P/N: 981-4001 Includes: Main chamber Electronics rack Plate Removed parts: RHEED Gun Source cells Transfer arms.
VARIAN/VEECO GEN II是一種分子束外延(MBE)設備,在多種應用中為高品質的薄膜生長而設計。它使用真空室和電子束和元素粒子的組合,如矽和​​氙來生長這些材料的原子層薄膜。VEECO GEN II是獨一無二的,因為它利用一種稱為電子束蒸發的獨特技術來沈積材料的薄膜。這種電子束是在對材料施加電場時產生的,導致材料的分子在粒子束中被電離或加速。薄膜生長過程從材料被泵入真空系統開始。這種材料形成源材料,加熱到特定溫度,這使得原子可以從源材料表面剝離。同時,電子束引導和控制源材料沈積到薄膜生長的基板上。隨著薄膜厚度的增加,可以通過在單元中引入附加元素(摻雜劑)來調制生長,從而影響薄膜的應力、電阻率、帶隙、介電常數等特性和電特性。VARIAN GEN II還配備了兩臺真空泵,以及一臺VEECO Opticron成像機,可以讓用戶監控薄膜的生長。它還包括一個用於測量樣品表面質量的表面分析儀和一個Load-Lock工具,允許使用更高的沈積速率、更高的質量和可重復的實驗來處理樣品。GEN II是最先進的MBE資產,可以幫助科學家和工程師為從微電子到太陽能的各種應用創造高質量的薄膜。對於那些為項目尋求高質量薄膜生長的人來說,它是一個非常寶貴的工具,並被廣泛用於研究,包括對應變薄膜結構的測量、界面研究、摻雜研究等等。
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