二手 VARIAN / VEECO GEN II #9222084 待售
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已售出
ID: 9222084
晶圓大小: 3"
Molecular beam epitaxy system, 3"
Type:
Cell in: 60cc
Dual filament ga cell: 125cc
Cell cable 2-pol, TC
(2) Cryo motor cables
(4) Water pipes
Pistols:
N2
Cracker (With motor)
(2) Trolleys, WH (5"x 3'' 2x 2'')
(2) End piece manipulators
Buffer chamber extension
Materials used: As, Ga, In, Al, Si, Be
Connector vacuums:
LN2
Cables joint
Shutters tangen
Cage distance pieces
Power cable
Doping cell (Si)
Ga cell sumo
Pyrometer
Control unit
Power cable
Doping cell (Neu)
Si-cell heat filament defect
Head mass spectrometers:
Lead through defective
Al-cell thermocouple defective
(2) Windows (Heated)
Control-PC
Cage
Ratchet
Dual filament cell
400g Sumo cell
Dual filament cell
Dopant cell
Mass spectrometer
Control-PC
Cage distance pieces
(4) He-tubes
Power cable
LN2 Phase separator.
VARIAN/VEECO GEN II分子束外延設備是一種先進的工具，設計用於制造復雜的納米結構，如量子點。這種沈積系統利用低能電子束在目標基板上形成穩定的原子層。光束能量由內置離子源預選，該離子源被磁屏蔽，以確保光束的精確控制和可重復性。產生的光束可以從一個eV的一小部分變化到幾個eV，使得這個單元好於沈積一系列材料。VEECO GEN II獨一無二的源機允許特殊的動態沈積效應，如脈沖和恒定束通量的組合，基板加熱或冷卻速率，或動態沈積速率和壓力變化。此外，室內質譜儀與實時光譜反饋相結合，可以精確控制目標層的材料組成。VARIAN GEN II還具有一個三軸計算機控制的運動組件，它提供亞微米精度來定位樣品相對於沈積源的位置。通過控制樣品運動和沈積速率，用戶可以在納米尺度上產生具有尖銳剃須刀狀特征的結構。該工具復雜的計算機界面和軟件自動化提供了對復雜生產制度的訪問。這種對沈積速率、通量、電流和基板溫度的自動控制使得可達到小於納米厚度的均勻層的沈積成為可能。此外,GEN II還包含多種安全功能,如氣體安全切斷閥、壓力監視器和真空警報。該資產還配備了真空互鎖模型和顯示實時流程數據的液晶面板。最後，VARIAN/VEECO GEN II分子束外延是一種先進的沈積設備，可以精確控制用於生產復雜納米結構的各種參數。該系統提供了一系列獨特的功能,使其能夠以超微觀精度生成極其精確的層。
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