二手 VARIAN / VEECO GEN II #9225851 待售

VARIAN/VEECO GEN II是一種分子束外延設備，提供了生產高品質薄膜半導體材料的可靠途徑。該系統由一個發生反應的真空室和一系列獨立但相互關聯的組分組成。腔室包括基板卡盤、激光熱源、快門機構、氣體控制單元、沈積頭和快速淬火裝置。通過基板卡盤，可以固定一個基板樣品，如矽片、玻璃板或砷化氙片。激光加熱源可調節至所需溫度高達1000 °C，產生足夠的熱量，以促進外延生長。快門機構允許精確控制反應物束，並與激光熱源配合工作，使熱量在整個基板上均勻分布。氣體控制機使用一個單獨的氣箱，允許沈積在低真空壓力下發生。這確保了有效的MBE工藝,汙染最小,表面粗糙度最小。可以對沈積頭進行調諧，以提供外延膜幾乎所有所需的成分。根據用戶的需要，制造層的範圍從納米到微米不等。快速淬火裝置像快門一樣工作，快速、精確地停止膠片沈積，以避免不必要的相互作用，確保膠片沈積均勻。VEECO GEN II為生產高品質的薄膜半導體材料提供了可靠準確的方法。此外,此工具還可以生成不同厚度、組成和表面粗糙度的層,以實現高級外延增長。簡而言之，VARIAN GEN II是生產薄膜半導體材料時需要精度和可靠性的用戶的理想解決方案。