二手 VARIAN / VEECO GEN II #9225866 待售

VARIAN/VEECO GEN II是一種分子束外延（MBE）設備，用於生產高精度、單晶的復合半導體薄膜，具有優越的純度和對薄膜厚度的原子尺度控制。VEECO GEN II配備了兩個積液電池-一個用於III組元素,另一個用於V組。電池安裝在三軸機械手上,以優化底物溫度和通量。基板加熱至高達750°C的溫度，而快門則用於中斷來自獨立於操縱器的積液池的通量。該系統還配備了反射高能電子衍射（RHEED）單元，允許即時通量速率和幾何優化。這樣可以更好地監控最終產品的增長並確保更高的質量。另外，VARIAN GEN II有一個低能離子源，有助於減少薄膜中的缺陷。GEN II還配備了四室真空烤箱，可在保持清潔和超高真空環境的同時實現高效的薄膜生長。四個腔室通過鎖載口連接到真空脫氣腔室。這個腔室再連接到渦輪分子泵和渦輪阻力泵組合，提供材料生長所需的超高真空環境。VARIAN/VEECO GEN II還提供了廣泛的其他組件，如殘留氣體分析儀、微波電子回旋共振等離子體源和環形雙束蒸發器。總體而言，VEECO GEN II MBE機提供了獨特的柔韌性和控制性組合，以支持高效生產具有優異結構和電氣性能的高質量、均質半導體薄膜。它以保持閉環控制工具的能力而受到高度重視，使所開發的半導體材料能夠精確、一致地生長和均勻。