二手 VARIAN / VEECO GEN II #9232281 待售

VARIAN/VEECO GEN II是一種最先進的分子束外延（MBE）設備，設計用於高沈積精度和低氣體雜質摻入。它能夠將固體材料沈積到各種基材上，精度高，分辨率好。該系統由幾個組分組成，如超高真空單元、積液池和電子束蒸發器，所有這些組分共同創造所需的薄膜。超高真空機由泵和光束線的幾個階段組成，用於將真空保持在分子光束外延生長的最佳水平。此工具可通過維護面板訪問,負責保持10-7-10-8 Torr的基本壓力。電子束蒸發器是用來加熱和蒸發材料，本質上是「冷凝」在選擇的基板上的分子。這是閉環或反應性增長過程［可以進行的。積液池用於控制氣體流動和進口生長過程所需的化學前體。該資產還負責精確的氣體分配控制。它配備了單通道或雙通道積液電池，一次最多可使用兩個金屬或半導體源。這樣可以精確控制材料的組成、層厚度和沈積速率。VEECO GEN II還配備了超細電阻熱掃描模型，確保對基板的精確溫度控制。這臺設備可以在50 K到1000 K的溫度範圍內運行，最後系統配備了電子回旋共振源，允許精確控制原子的電離以摻入薄膜。總體而言，VARIAN GEN II是一種精密的材料沈積裝置，可提供各種材料的精確、低溫生長。其特點使其非常適合廣泛的研發應用。