二手 VARIAN / VEECO GEN II #9235092 待售

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ID: 9235092
MBE system AS Cracker cell Molly control system Dry scroll pump station K-Space REED screen camera and software RGA CBr4 for carbon As, SUMO Ga, 2 Al, In, CBr, and 2 doping cells (Be/Si)
VARIAN/VEECO GEN II是一種先進的分子束外延(MBE)設備,專門設計用於半導體材料的研究和制造中的薄膜沈積。該系統由多種蒸氣源、不同溫度和自動化過程組成,可實現薄膜的精確生長。它非常適合半導體和超晶格的單層、多層和/或復雜合金薄膜沈積。VEECO GEN II由一個以1 x 10-10 Torr的底壓為動力的主室組成。主室內部是加熱的基板架和電子束槍;電子槍高度可調,可以以不同角度和距離傾斜。此外,VARIAN GEN II還包括一個計算機控制的氣體處理單元,該單元具有許多在受控壓力、流量和溫度下獨立的氣源。每個源都包含多個百葉窗,以獨立調節通向主室、來自主室和主室內的流量。它能夠沈積單層、多層和復雜的合金,需要精確和精確。沈降速率控制和通量均勻性可通過精密的淋浴頭設計實現.它接地的屏蔽層保護底物免受可以從蒸氣源散射的離子和粒子的影響。此外,GEN II與各種薄膜分析工具兼容。該機器進一步為廣泛的研究需求提供了必要的靈活性和便利。這是通過它的可伸縮平面設計、堅固的氣體處理工具以及電子槍在主室周圍自由傾斜和移動的能力來實現的。它的設計還允許一個自動化的過程,這使得技術人員既可以存放薄膜,也可以用相同的資產進行分析。最後,VARIAN/VEECO GEN II是精密薄膜沈積和薄膜分析的理想模型。它獨特的特點和健壯的設計使它可以用於各種研究應用和過程。設備的可伸縮平面設計、精確的溫度控制和自動化的工藝,可以為復雜半導體材料的制造提供精確的薄膜。
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