二手 VARIAN / VEECO GEN II #9238934 待售

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VARIAN / VEECO GEN II
已售出
ID: 9238934
晶圓大小: 4"
MBE System, 4".
VARIAN/VEECO GEN II是一種分子束外延(MBE)設備,用於將有機和無機材料的薄層沈積在基板上,使研究人員能夠以驚人的控制和精度產生高精度的納米結構。該系統能夠沈積從幾埃厚到大約一微米厚的層,可用於多種材料,包括半導體、金屬、聚合物和納米結構。MBE系統的工作原理是在超高真空條件下在高溫下蒸發材料,然後將蒸氣沈積到冷卻的基板上。在VEECO GEN II MBE單元中,真空室分為負載鎖、主室和基板制備室三個部分。樣品被放入負載鎖,環境被泵送到所需的真空水平,然後樣品被轉移到主室。一旦在那裏,底物被加熱到所需溫度,並引入蒸發劑,通常是通過克努森電池或電子束。由於材料在腔室內汽化,它指向基板表面。然後將沈積的膜慢慢冷卻,退火,以形成所需的納米結構。機器還包括許多功能,可以更好地控制沈積和薄膜形成過程。例如,VARIAN GEN II有一個高精度的斬波器工具,可以改變薄膜的厚度和沈積速率,以及樣品旋轉階段,還有一個氣體輸送資產,可以精確控制腔室中的氣體環境。此外,該模型包括一系列光束百葉窗,允許無機或有機金屬沈積,或精確控制沈積中物種的分布。GEN II MBE設備是研究人員希望為其納米結構增加精度和控制的寶貴工具。它的功能為用戶提供了創建具有嚴格控制的高性能納米結構的能力,允許在微電子學、光子學和材料科學等領域的應用。
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