二手 VARIAN / VEECO GEN III #9197483 待售

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ID: 9197483
MBE System (12) Source ports RHEED / RGA.
VARIAN/VEECO GEN III分子束外延(MBE)設備是一種高精度的研究工具,用於在基板上制造薄膜。這一技術最常用於材料沈積在矽、砷化的、氧化鋅等多種底物上。該系統能夠沈積只有幾納米厚的材料層,比其他沈積過程具有更大的均勻性和準確性。這使得VEECO GEN III成為創建小型設備或組件的理想單元。該機由蒸發器、快門、氣體快門、石英晶體監控器、電阻加熱器、定向質量流控制器和電源組成。蒸發器用於保存和加熱要沈積在基板上的材料。快門控制材料從蒸發器通過時的流動。氣體快門被用來控制正在沈積的材料中包含氮氣和氫氣等氣體。石英晶體監測器對被沈積材料的厚度和均勻性提供反饋,而電阻加熱器則用於將蒸發器保持在給定溫度。定向質量流控制器用於調整材料的壓力和速度,而電源則用於為刀具組件提供適當的電壓和電流。VARIAN GEN III資產還配備了多種安全功能,包括蒸發器過載保護、化學安全殼用離子泵、顆粒安全殼用過濾泵。該模型是高度自動化的,其軟件設計用於對所有設備部件進行高效控制。該軟件還能夠控制各種其他組件,包括溫度分析和基板定位,以創建復雜的沈積模式。GEN III系統由於沈積半導體等材料層的精度和精確度,被認為是領先的沈積技術。這個單元被廣泛用於研發,並被用於包括半導體芯片和光學元件在內的許多產品的創作。它能夠創建小規模和復雜的組件,這使其成為先進技術開發的寶貴工具。
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