二手 VARIAN / VEECO UHV #9081064 待售
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ID: 9081064
System
SS Chamber:
O-ring sealed cover & has a 1 ½" viewport
(2) sets of Curvac ports around the circumference
Upper set of ports include four 2 ¾" and three 3-3/8" Curvac flanges
Pumping system:
(2) Ultek sorption roughing pumps including manifold & manual valving
Veeco MI300 Mag Ion pump rated at 300 l/s complete w/ Model CU510 power supply
Mounted on a compact table.
分子束外延(MBE)是一種用於制造納米級結晶材料的工具。VARIAN/VEECO UHV MBE設備設計用於將復雜的薄膜材料沈積在多種底物上,允許通過分子生長產生復雜的異質結構。通過將常規分子束源(如積液池和電子束噴槍)的組分與高溫、高真空系統的組分相結合,實現了較高的沈積速率和均勻性。VEECO UHV MBE單元的核心是超高真空(VARIAN UHV)室。裏面是一個底壓小於10-7 Torr,溫度範圍高達1200 °C,能夠容納直徑高達6英寸尺寸的基板的環境。這樣的條件對於分子束沈積的處理是必不可少的.除特高壓室外,VEECO MBE機還設有一套分子束源,包括雙槍電子束槍、蒸發池和濺射源。雙槍電子束槍設計用於低溫沈積,蒸發電池用於高溫精度。濺射源提供了更多樣化的沈積能力。通過控制源的參數,VARIAN/VEECO UHV MBE工具能夠創造幾乎無限種類的薄膜和/或異質結構。提供直流和射頻輸入的單獨電源資產為電源供電。這有助於確保材料的準確沈積。進一步支持該過程的是一系列自動化組件,如定位器、自動樣品旋轉系統和質量流控制器。這些組件使用戶能夠準確選擇所需的基板並保持對增長過程參數的精確控制。最後,VEECO UHV MBE模型安裝在堅固耐用的符合人體工程學的外殼中,為用戶提供舒適和安全的設計。該設備還配備了多種先進的系統監測和安全系統,使其成為任何從事分子束外延項目的實驗室的理想選擇。
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