二手 VEECO GEN 2000 #293610396 待售
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VARIAN/VEECO GEN 2000是一種單室分子束外延（MBE）設備。它是一種用途廣泛、精密的工具，用於沈積和加工元素和復合半導體材料的薄層。MBE是一種氣相生長過程，可以精確控制半導體層的組成、厚度和摻雜。VEECO GEN 2000 MBE系統利用來自多個元素源的原子束，這些原子束被組合並向下引導到加熱的基板上。底物可以由單晶或多晶半導體材料組成，加熱至生長溫度。腔室維持在10^（-11）至10^（-7） Torr範圍內的低基壓，然後所需的蒸氣在基板表面凝結形成明確的結晶層。VARIAN GEN 2000提供了一個異常穩定的生長環境，使層狀生長具有極好的均勻性、均勻性和結晶質量。該單元利用超聲波編碼器來精確監測各層的沈積速率。這種對生長條件的高精度控制提供了開發復雜結構如半導體超晶格和量子井的理想平臺。GEN 2000 MBE機包括兩個高精度快門快門，一個可控快門脈沖驅動器，自動反射計和一個高精度自動調平器。快門快門提供原子束強度的可調控制，快門脈沖驅動器允許對快門脈沖長度的精確控制。自動反射計用於對被沈積半導體層的厚度進行快速的原位光學監測。高精度自動調平器不斷調整基板以保持水平，即使存在不均勻的表面載荷。VARIAN/VEECO GEN 2000 MBE工具還提供了一系列先進的過程控制，如沈積速率的原位反饋控制、脈沖沈積的自動化過程控制、自動反應物控制和負載鎖定輔助過程控制。VEECO GEN 2000 MBE資產是現代材料加工能力的典範。它提供技術先進的工具，使復雜的半導體材料沈積具有無與倫比的精度和控制。
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