二手 VEECO Gen II #293627901 待售

VARIAN/VEECO GEN II是一種尖端分子束外延（MBE）系統，旨在實現高純度材料薄膜的沈積，對材料成分和厚度的亞納米精度進行精確控制。它結合了專門的硬件組件、高級軟件和經過精細調整的過程,以可靠的一致性確保層的增長。VEECO GEN II有幾個關鍵組成部分。該系統的基礎是真空室，以及用所需的加工氣體排空和回填該室所需的設備。室內有一個基板加熱器，用於對要沈積的材料提供精確的溫度控制。電子束槍用於提供電子束，以幫助促進真空室內材料的解吸、沈積和/或圖樣化。電子束槍也可用於改變電子束的劑量或強度，控制層生長的某些性質。另外，VARIAN GEN II包含了幾組積液細胞，這使得氣體的元素來源（如和砷）可以被註射到沈積室中。這些電池具有精確的溫度控制器和狹縫準直組件，以確保對材料的微觀結構和厚度的精確控制。GEN II還有幾套可以打開或關閉的快門組件，以精確控制進入沈積室的物料數量。VARIAN/VEECO GEN II利用「單一循環」的方法進行層的生長：腔室、基質和源全部循環在一起，為生長的每一層提供完美的控制和均勻性。腔室可以用液氮加壓固定，增加了吞吐量和對生長速率的控制。VEECO GEN II也有一個完全自動化的「配方」方法，這意味著用戶可以輸入所需的層參數，VARIAN GEN II將自動處理存放該層所需的所有過程步驟。MBE GEN II是現代薄膜沈積系統的縮影。它允許精確的層級增長和對材料參數的控制,同時通過全自動操作提供高吞吐量。