二手 VEECO Gen II #293777985 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293777985
優質的: 1999
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system
Control module
EPI MOTION SYSTEMS Substrate transfer controller
INSTRUTECH FlexRax Vacuum gauge controller
Eurotherm box
Thermocouple
Growth chamber
Gate valve
Buffer chamber
Transfer rods
Turbo-V 300 HT Macro Torr Turbo molecular pump
(2) Ion pumps
CTI-CRYOGENICS Cryo pump
Compressor
Effusion cells
Vacuum system
Power supply
RF Generator
Reflection High-Energy Electron Diffraction (RHEED) system
Handling system
No N-Plasma system
No Rheed Gun
No controller.
VARIAN/VEECO GEN II是一種尖端分子束外延（MBE）系統，旨在實現高純度材料薄膜的沈積，對材料成分和厚度的亞納米精度進行精確控制。它結合了專門的硬件組件、高級軟件和經過精細調整的過程,以可靠的一致性確保層的增長。VEECO GEN II有幾個關鍵組成部分。該系統的基礎是真空室，以及用所需的加工氣體排空和回填該室所需的設備。室內有一個基板加熱器，用於對要沈積的材料提供精確的溫度控制。電子束槍用於提供電子束，以幫助促進真空室內材料的解吸、沈積和/或圖樣化。電子束槍也可用於改變電子束的劑量或強度，控制層生長的某些性質。另外，VARIAN GEN II包含了幾組積液細胞，這使得氣體的元素來源（如和砷）可以被註射到沈積室中。這些電池具有精確的溫度控制器和狹縫準直組件，以確保對材料的微觀結構和厚度的精確控制。GEN II還有幾套可以打開或關閉的快門組件，以精確控制進入沈積室的物料數量。VARIAN/VEECO GEN II利用「單一循環」的方法進行層的生長：腔室、基質和源全部循環在一起，為生長的每一層提供完美的控制和均勻性。腔室可以用液氮加壓固定，增加了吞吐量和對生長速率的控制。VEECO GEN II也有一個完全自動化的「配方」方法，這意味著用戶可以輸入所需的層參數，VARIAN GEN II將自動處理存放該層所需的所有過程步驟。MBE GEN II是現代薄膜沈積系統的縮影。它允許精確的層級增長和對材料參數的控制,同時通過全自動操作提供高吞吐量。
還沒有評論