二手 VEECO Gen II #9057008 待售

製造商
VEECO
模型
Gen II
ID: 9057008
優質的: 1984
MBE Growth system Wagon wheel prep chamber with auger analysis Auxiliary chamber Growth chamber Manual valve Ion-pumped 4-effusion cell system (8) Effusion cells, 2" (4) Upward-looking effusion cells All GaAs: InALGaAs based materials with Si and Be dopant sources (3) Ion pumps at base (2) Sorption pumps Functional RHEed and QMS Spare parts and effusion cells available No phosphorous deposited 6-Wafer load lock O2 Plasma source H2S Cracker cell H2S3 Cracker cell EUROTHERM Temperature controller Operation system and computer 1984 vintage.
VARIAN/VEECO GEN II是一種分子束外延(MBE)設備,經過優化,可生產多種光電和電子材料。它提供了最先進的模塊化設計,允許進行簡單的配置更改。它提供了一個高級控制系統,提供了一個增強的過程參數的控制。它具有廣泛的沈積材料的能力,包括半導體材料如氮化氙(GaN)、砷化​​氙的的脫碳(InGaAs)、砷化的脫碳(GaAs)和磷化​​的脫硫(InP),以及金屬如金和鋁。此外,該裝置能夠進行幾種先進的材料沈積技術,如離子束輔助沈積 (IBAD),其中使用專門設計的離子束對材料進行剖析和形成,吸附控制沈積,確保材料只沈積在裸露表面的技術,以及金屬輔助化學蝕刻 (MACE),一種創新技術,可用於創建多種基於納米結構的模板。VEECO GEN II機還配備了幾個先進的診斷系統,可以用來監測和評估沈積材料的質量。這些包括原位反射法和掃描電子顯微鏡圖像。該工具還與自動晶圓監測資產集成在一起。這樣可以進行實時晶片分析和質量控制,從而實現最佳的材料沈積性能。VARIAN GEN II模型還提供了電弧探測器、氣體濃度和探測器監測器以及安全互鎖設備等多種安全功能。這些功能旨在保持操作員和研究人員的高度安全。GEN II系統是生產光電電子材料的強大靈活平臺。其先進的控制單元保證了工藝參數的保持,以達到最佳的材料沈積性能。它具有儲藏廣泛材料的能力,這使得它適合許多不同的應用。此外,該機配備了幾個先進的診斷系統,提供了材料沈積質量的綜合分析,以及眾多的安全特性。
還沒有評論