二手 VEECO Gen II #9080731 待售

VARIAN/VEECO GEN II是一種分子束外延（MBE）六室設備。該系統為電子器件、半導體異質結構和納米級結構等應用提供了薄膜材料的增長。該單位由幾個組成部分組成，每個組成部分都有特定用途。這些組件包括一個冷陷阱、一個蒸發器、一個沈積室、一個特高壓快門、一個He等離子體源、一個高真空泵裝置、一個渦輪泵裝置、一個等離子體機器以及一個I/O控制和接口。該工具首先將基板引入冷陷阱,在那裏進行冷卻過程。這樣可以在基板上均勻分布溫度。一旦基板處於預定義溫度，蒸發器就會給材料充電，準備加熱並蒸發。蒸發材料後，新材料在沈積室中沈積到基板表面。氣體從特高壓快門引入腔室，之後基板再次慢慢加熱，使新材料沈積到基板上。這是用加熱底物和材料原子的He等離子體源完成的，然後由rf等離子體引導並聚焦於底物。為了提高薄膜的質量和可重復性，使用超高真空來排除任何不需要的氣體或顆粒進入沈積室。反過來，渦輪泵資產被用來從腔室中除去任何蒸氣和不希望得到的物質。為了控制沈積過程的參數，例如溫度和時間，使用I/O控制和接口向模型發送命令和數據。設備可以通過圖形用戶界面進行操作和監控，以幫助提高薄膜生長的準確性和可重復性。總體而言,VEECO GEN II是一個出色的MBE系統,它允許以高精度、精確度和可重復性增長薄膜材料。憑借其組件和高級功能,該設備非常適合各種薄膜應用。