二手 VEECO Gen II #9257149 待售

VARIAN/VEECO GEN II分子束外延（MBE）設備是一種用於半導體工業生產納米級結構和材料的高性能沈積和生長技術。它能夠在受控的、接近理想的環境中沈積和生長半導體、金屬和其他材料的薄膜。VEECO GEN II MBE系統是圍繞一個模塊化的熱壁腔設計的，具有不同元件的多個源，可以精確控制材料的生長。它具有超高真空（UHV）單元、溫度感應熱電偶和閉環冷卻單元。後者尤其有助於確保在沈積過程中準確控制溫度和氣體流動。沈積過程從加熱的高純度源室開始，該室被沈積在由晶圓提升機構固定在適當位置的基板上。為確保膜均勻，由自動控制器精確監測和調整基板溫度和氣體流動等參數。還使用原位快門和質譜儀監測沈積材料的精度和純度。VARIAN GEN II MBE機還具有生產多層結構的能力，在同一基材內不同層次的不同材料。這是通過稱為「分級多層沈積」的過程實現的，涉及交替沈積多層不同材料，一層在另一層之上。這允許制造多功能材料，如晶體管、LED和光伏電池。GEN II MBE工具能夠生產低應變和應力的優質、無缺陷薄膜。由此，它在微電子學、光電子學、納米技術等領域有著廣泛的應用，使其成為半導體行業的寶貴工具。