二手 VEECO Gen II #9359602 待售
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ID: 9359602
晶圓大小: 2"
MBE System, 2"
(8) Sources:
(7) 2.75" Flanges
4.5" Flange
Indium-free (6) sample holders with profiles
Substrate heater: Up to 900°C
Substrate manipulators:
Power supply
Temperature controller
Servo motor control unit
Clean chamber
Effusion cells
(2) Valve crackers
RF Plasma source: Nitrogen / Oxygen
Growth chamber pumps:
Ion pump: 400 l/m
Cryo pump, 10"
Prep chamber pumps: Ion pump
Load lock pumps: Sorption, mechanical, turbo pumps
(3) Ion gauges and controllers
RHEED and QMS Systems
Pyrometer
Computer
Panels.
分子束外延(MBE)是一種復雜的薄膜沈積工藝,用於為各種微電子器件應用創建原子精密的材料層。VARIAN/VEECO GEN II MBE設備是一種功能齊全的MBE機器,專為大學和商業部門的研發實驗室和制造商設計。通過提供對許多環境參數和基板位置的精確控制,該MBE系統使用戶可以管理從低壓到超高真空的一系列沈積過程。VEECO GEN II MBE是一個四源、傾斜源的單元,有兩個專用的V組和一個專用的III組低壓源(分別是和砷)。第四個來源是針對GaAs及相關合金生長進行優化的超高真空源機器。大型機氣源閥使底物能夠快速清潔地進出MBE室,而內置的安全聯鎖工具則監測資產狀況,以確保安全運行。精確的基板定位由線性操縱階段提供,可集成到各種MBE裝卸源中,確保準確性和可重復性。此外,VARIAN GEN II還包括具有熱電偶靈活性的手動和閉環溫度控制。利用激光增強型多脈沖四極質譜儀進行殘余氣體分析,以提高精度和速度。GEN II MBE模型具有多種控制和自動化功能,旨在提高用戶體驗的效率。這包括允許設置和控制的用戶友好圖形用戶界面(GUI)。此外,該MBE設備還具有多種預先編程的配方協議,以實現優化的增長和可重復性。總體而言,VARIAN/VEECO GEN II MBE為用戶提供了一個高性能和精確的系統,用於創建原子精確的材料層。它提供卓越的溫度控制、精確的基板定位、閉環操作、增強的安全互鎖單元和氣源閥,以及高效的GUI控制和自動化。VEECO GEN II MBE機器具有廣泛的特點和滿足尖端技術要求的能力,是許多研究和制造項目的重要工具。
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