二手 VEECO Gen II #9359604 待售
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單擊可縮放
ID: 9359604
晶圓大小: 2"
MBE System, 2"
With auger analysis
(8) Sources: 2.75" Flanges
Indium-free (6) sample holders with profiles
Substrate heater: Up to 900°C
Substrate manipulators:
Power supply
Temperature controller
Servo motor control unit
Clean chamber
Effusion cells
Wagon wheel prep chamber
Growth chamber pumps:
Ion pump: 400 l/m
Cryo pump, 10"
Prep chamber pumps: 220 l/m Ion pump
Load lock pumps: Sorption, mechanical, turbo pumps
(3) Ion gauges and controllers
RHEED and QMS Systems
Pyrometer
Computer
Panels.
分子束外延技術是一種精密控制層厚、均勻性和組成的薄膜材料的先進技術。VARIAN/VEECO GEN II是一種最先進的分子束外延設備，提供了增強的性能和多功能性。VEECO GEN II旨在實現比傳統和現有分子束外延系統更高的增長率,同時提供對層厚度、均勻性和組成的卓越控制。VARIAN GEN II采用三重金屬三源（TMTS）配置,由三個獨立的可蒸發材料來源組成。借助TMTS、超低摻雜分數、高面積材料均勻性和可調增長率,客戶可以定制其設備設計以獲得最佳性能。此外，TMTS的替代源臂允許添加更多的反應物材料來源，以提高組成靈活性和多層增長。GEN II還配備了實時原位監控系統和計算機控制的快門組件，提供了對膠片生長的更多控制。實時單元監控薄膜厚度、均勻性和摻雜水平，允許對材料沈積過程進行優越的控制。快門組件可用於遮蔽選定的沈積區域,提供對雜質濃度、層均勻性和組成的更多控制。除了提高性能外,VARIAN/VEECO GEN II還提供卓越的環境穩定性和清潔度。該機配備了超低除氣超高真空（UHV）組件，減少了汙染物沈降在晶圓上的機會。此外，VEECO GEN II還具有氣束葉輪，有助於消除不良塵埃顆粒的形成，從而螺旋進入腔室並汙染膜的生長。總體而言,VARIAN GEN II是一種先進的分子束外延工具,可提供卓越的性能、多功能性和環境穩定性。GEN II通過提供卓越的實時監控功能、可定制的增長率和組合物以及超低除氣組件,增強了對沈積過程的控制,創建了結構精確的薄膜材料,具有均勻性和可重復性。
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