二手 VEECO GEN III-V #9257986 待售

VEECO GEN III-V分子束外延設備是生長納米級復合半導體材料的一種獨一無二的研究工具。它提供世界級的研究能力和性能,使當今最先進和創新的設備和材料得以制造。該系統包含一個超高真空（UHV）沈積單元，提供從III-V基板（如GaAs和GaP）生長外延層所需的條件。其強大的一套特性包括多重敏感器傳輸和處理；為提高樣品均勻性和吞吐量，每臺機器有1至4個源crucible；以及一個超高壓腔室，該腔室有一個抽水、無開槽的源和用於擴大研究應用的雙獨立積液池。而且，它包含了幾種先進的源配置，如長壽命蒸發源更長的運行時間；III類物種沈積率較高的阻滯劑；用於精確控制沈積速率的源百葉窗；以及氣體侵入源。它的高分辨率和快速反應質譜儀提供了對腔室氣體成分的跟蹤測量，以確保對薄膜生長參數的完全控制。該工具與UHV兼容的機械部件，如高熱梯度激光加熱系統，加上其對磁感器的精確機械控制，使得科學和工程級材料能夠在同一資產中制造。GEN III-V提供了廣泛的可用附加選項和功能,極大地擴展了其功能。定制的原位通量模塊可提供自上而下的晶圓通量控制,精度降至個位數,而「原位」QCM可提供實時沈積速率測量。此外,集成的選項（如遠程樣品加熱/冷卻系統、樣品支架升降機和增量基板旋轉）可實現超均勻性的超薄層。此外,它的高級硬件選項,如具有原位樣品存儲和檢索功能的自動化樣品傳輸、自動基板加載/卸載以及自動配方選擇,使模型能夠在沒有操作員的情況下長時間工作。VEECO GEN III-V使分子束外延的每一個方面都能達到，將世界級的性能與無與倫比的靈活性相結合，創造出未來幾年用於研究和商業目的的最佳外延材料增長。