二手 VEECO GEN III #293627903 待售

VARIAN/VEECO GEN III是一種分子束外延（MBE）設備，為高級沈積提供精確的原子反應環境。這是通過將單個分子或原子精確放置在層或器件內的首選位置來完成的。VEECO GEN III系統利用獨特的超高真空環境，產生精確、高純度和均勻的結果，完全不需要進一步凈化或擴散過程。VARIAN GEN III提供三種主要單元配置,以滿足不同類型的MBE沈積任務。單晶片機的特點是單晶片架配有加熱的敏感器，非常適合單晶片實驗；而雙晶片工具提供了兩個具有獨立加熱元件的半獨立晶片持有者，使用戶能夠同時向兩個晶片沈積。三晶圓資產是為高吞吐量而設計的，有一個簡單的加載/卸載站，允許用戶快速插入三個晶圓並沈積--這種配置最好用於半導體器件和顯示器等大面積器件。所有的GEN III系統都能完全控制沈積過程的各個方面,包括壓力、溫度和通量。這些系統還具有一個內置冷卻模型，以消散設備產生的任何熱量。這種冷卻設備，加上VARIAN/VEECO GEN III系統強大的通量輸送，確保以盡可能最準確和可重復的速率進行沈積。在晶圓尺寸方面，VEECO GEN III與廣泛的晶圓兼容，可以容納直徑達200毫米的晶圓。此外，該系統還具有內置的裝卸運輸和盒式磁帶系統，可方便地處理和傳輸多達12個經過處理的晶圓。VARIAN GEN III還配備了高靈敏度的四極質譜儀，用於快速準確地識別有害的背景氣體，以及各種自動化工具，用於精簡和增強整個MBE過程。總體而言,GEN III是市場上最先進的MBE系統之一。其通量交付、晶圓和設備兼容性、自動化能力以及在單元配置方面的多功能性使其成為各種高級研發項目的理想選擇。