二手 VEECO GEN III #9262111 待售
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ID: 9262111
優質的: 2001
MBE System
(3) Al Sources: 400g
(2) Ga Sources: 900g Sumo
In Source: 400g Sumo
CBr4 Carbon Source includes mech pump
Silicon source
(2) Arsenic crackers
RHEED System
Substrate pyrometer
STANFORD RESEARCH SYSTEMS Residual gas analyzer
Cryo and compressor
Ion pumps
Load lock turbo
CAR
Spare parts:
(2) Al Sources – 400g
(2) 400g Sumo
900g Sumo
Be Source
As cracker (Needs rebuild)
Phosphorous cracker
Phosphorous recovery system
Bakeout panels
Spare gate valve
Sump pump
Miscellaneous hardware in cabinet (Gaskets, bolts, crucibles, spare cables)
Includes:
Electronic racks
Computer and desk
Shutter hardware
Trolley
Substrate holders
LN2 Phase separator
Water chiller for source shroud
Water chiller for Arsenic crackers
UPS system for Ga and Al cells
Manuals
2001 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III是一種分子束外延（MBE）生長設備，通常用於原子級薄膜的沈積。該系統由幾個主要部件組成，如高溫生長成像爐、超高真空室、多個積液池、熱接近快門和幾個前線泵送系統。該成像爐能夠達到高達1000攝氏度的溫度，用於將材料從固體形式轉化為氣態形式，以便沈積高質量的超薄膜。超高真空室是發生沈積的區域，通常加壓到十分之一毫巴。多個積液細胞中含有源性物質，需要加熱至高溫才能使其元素蒸發並進入腔室形成薄膜。熱接近快門用於控制積液池與沈積膜的底物的相對位置。前線抽水系統需要保持較高的真空水平，這對於MBE來說是必不可少的，因為它需要較低的分壓環境，以防止膜受到汙染。抽油機附著在真空室中，具有調節機器壓力和產生高質量真空的兩個功能。抽水工具還可以使用其他組件，如冷凍閥、真空計、歧管閥和凸輪閥，以優化性能。總體而言，VEECO GEN III MBE資產是一種強大的增長工具，可以在極其精確的條件下提供一系列的材料屬性。它提供了一個無與倫比的水平控制沈積過程，使其能夠創造復雜和復雜的薄膜。
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