二手 VEECO GEN III #9378324 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9378324
晶圓大小: 2"-4"
優質的: 1996
MBE System, 2"-4"
Pieces: ¼"
Electronics rack
Chamber
Computer
RHEED Camera type: SI NEK150R1
RGA Mass spectrometer: PRB ECU 9925
For III / V Growth: GaAs, AlGaAs, InGaAs, CBr4
(9) Sources (Rebuilt): (2) Ga, (2) Al, (2) In, As, Si, (shared) C / Be
H2 Cracker
1996 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III是一種分子束外延（MBE）生長設備，通常用於原子級薄膜的沈積。該系統由幾個主要部件組成，如高溫生長成像爐、超高真空室、多個積液池、熱接近快門和幾個前線泵送系統。該成像爐能夠達到高達1000攝氏度的溫度，用於將材料從固體形式轉化為氣態形式，以便沈積高質量的超薄膜。超高真空室是發生沈積的區域，通常加壓到十分之一毫巴。多個積液細胞中含有源性物質，需要加熱至高溫才能使其元素蒸發並進入腔室形成薄膜。熱接近快門用於控制積液池與沈積膜的底物的相對位置。前線抽水系統需要保持較高的真空水平，這對於MBE來說是必不可少的，因為它需要較低的分壓環境，以防止膜受到汙染。抽油機附著在真空室中，具有調節機器壓力和產生高質量真空的兩個功能。抽水工具還可以使用其他組件，如冷凍閥、真空計、歧管閥和凸輪閥，以優化性能。總體而言，VEECO GEN III MBE資產是一種強大的增長工具，可以在極其精確的條件下提供一系列的材料屬性。它提供了一個無與倫比的水平控制沈積過程，使其能夠創造復雜和復雜的薄膜。
還沒有評論