二手 VEECO GENxplor #293648270 待售

分子束外延（MBE）是一種用於半導體器件制造的真空沈積技術.MBE利用密封的真空室，允許薄膜材料以原子或分子的形式沈積在不同的底物上。VARIAN/VEECO GENxplor具體來說是一種高真空、低溫原子層外延（ALE）系統,能夠沈積具有增強的性能和可重復性的材料。VEECO GENxplor是一個雙區系統,由一個插件組成,該插件包含兩個VEECO專利的高純度、低氧兩端爐子,或一個單一的雙區爐子,在同一基材上有兩個不同的溫度區。兩區爐的使用允許兩種薄膜材料在不同溫度下沈積，並有精確的溫度控制。VARIAN GENxplor還配備了三個分子束閥和兩個積液池，以提供更大陣列的金屬有機源化學品。分子束向生長室註入極精確劑量的金屬有機氣，據說比傳統的金屬-有機氣相沈積過程精確130-600倍。此外,GENxplor的高級晶圓位置模塊具有出色的晶圓均勻性,精確到1 µm以內。這樣就可以在沈積過程中更好地控制源和基板的溫度,從而使高質量的薄膜層在整個晶片上生長。最後,VARIAN/VEECO GENxplor與VARIAN GRIP模式的增長軟件捆綁在一起,為制造最先進的納米級存儲設備和其他高性能設備提供了精確、可重復的過程。該軟件通過控制分子束閥和積液池使沈積過程自動化，確保了精確可靠的沈積。總之,VEECO GENxplor是一種先進的MBE系統,與傳統的MBE系統相比,它提供了更高的精度和性能,使其成為設備制造商的重要工具,旨在實現其薄膜沈積的全精度和控制。