二手 VEECO MOD GEN II #9269863 待售
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ID: 9269863
晶圓大小: 3"
MBE (Molecular Beam Epitaxy) system, 3"
8 Sources
(10) Indium-free sample holders with different profiles
Substrate heater
Substrate manipulator:
Power supply
Temperature controller
Servo motor control unit
Clean chamber
Effusion cells
(2) Valved crackers
RF (Radio Frequency) plasma source
Growth chamber pumps
Prep chamber pumps
Load lock pumps
(3) Ion gauges
(3) Controllers
RHEED (Reflection High‑Energy Electron Diffraction) system
QMS (Quadrupole Mass Spectrometer) system
Pyrometer
PC
Bake out panels.
VARIAN/VEECO MOD GEN II分子束外延(MBE)設備是一種功能強大的先進沈積工具,可提供納米結構制造和高精度摻雜異質結構。它利用低壓和高度聚焦的超高真空的組合來實現對各種材料沈積的最高程度的控制,同時盡量減少汙染。該系統提供了一個單獨控制的環境,具有廣泛的溫度設置和先進的積液細胞單元。其核心是一臺可旋轉的兩軸仰角機,用於輸送各種材料,協助建造復雜的納米結構。可控環境由閉環溫度工具維護,該工具可精確控制從幾百攝氏度到10K或更低的基板溫度。這可以通過使用可選的氣動控制溫度控制器來進一步改進。集成的三區積液單元資產是用戶可配置的一系列材料類型和通量速率。該車型還可以配備一系列附加配件,如原位氣體脫氣器和加熱器,以及原位控制和監控設備。VEECO MOD GEN II還具有一個流程監控系統,該系統可持續監控和記錄可能的汙染情況,從而使用戶可以更好地控制流程。這可以提供寶貴的數據來提高制造過程的準確性和效率。自動分級裝置大大提高了吞吐量,允許同時處理多達八個四英寸晶片。該機器還可以用沈積配方進行預編程,並提供易於操作和設置的界面。VARIAN MOD GEN II MBE工具是控制和精確處理材料沈積的通用、緊湊的工具。它提供了廣泛的溫度設置和附加的安全功能,以最大限度地提高準確性和吞吐量,使用戶能夠快速創建高質量的納米結構。是III-V和IV-V復合半導體、納米技術、量子點系統研發的理想沈積工具。
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