二手 VEECO Molecular Beam Epitaxy (MBE) system #293800242 待售
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ID: 293800242
UHV Cluster tool, 6"
(4) Ports for E-Beam
Atom source
RHEED
Materials: Li, Co, O, Si, Ni, Mn
Sputters: LiPON, Pt, Ti, AlO, AlN, Al
Chambers:
Linear sputtering
Pre-clean
Storage
Load lock.
VEECO分子束外延(MBE)設備是在材料科學和半導體研究領域使用的一種前沿工具,用於原子精度的薄膜的精確生長。這種先進的分子束外延系統為研究人員提供了在原子水平上沈積對厚度、組成和結晶結構有特殊控制的薄膜的能力。VEECO MBE單元是一個精密多用途的平臺,使各種半導體材料和異質結構的增長具有高精度和可重復性。VEECO MBE機的核心是一個高真空室,配有多個積液池、電子束蒸發器和其他沈積源,用於將不同元素的原子或分子供應到加熱的基板上。此過程允許創建具有明確的界面和受控的逐層增長的薄膜。VEECO MBE工具具有精確控制薄膜沈積速率和組成的能力,是發展新型半導體器件和納米結構不可或缺的工具。VEECO MBE資產的主要特點之一是其先進的現場監測和控制能力。該模型配備了反射高能電子衍射(RHEED)、四極質譜和光譜橢圓偏振等各種診斷工具,能夠實時監測沈積膜的生長過程和表征。這種原位監測能力使研究人員能夠實時調整生長參數,以達到所需的膜性能和質量。VEECO MBE設備還提供精確的溫度控制和樣品處理能力,使研究人員能夠生長具有高均勻性和控制膜厚度的外延膜。該系統可以容納廣泛的基材材料和尺寸,為各種研究應用提供了靈活性。此外,該設備還配備了先進的自動化和軟件控制功能,可簡化沈積過程並確保在不同的增長過程中實現可重現的結果。除了卓越的增長能力外,VEECO MBE機器還為薄膜的增長提供了一個清潔、無汙染的環境。沈積室內保持的高真空條件最大限度地減少了雜質的存在,並確保了沈積膜的高純度。這對於制造具有精確電子和光學特性的高質量半導體器件和納米結構至關重要。綜上所述,VEECO MBE工具是分子束外延研究的一種最先進的工具,為研究人員提供了無與倫比的對薄膜生長和原子尺度材料特性的控制。VEECO MBE資產具有先進的沈積源、現場監測工具、溫度控制和自動化能力,是開發新型半導體材料和器件的通用平臺,對其性能進行精確控制。它的可靠性、效率和多功能性使其成為從事材料科學、納米技術和半導體物理學領域研究人員必不可少的工具。
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