二手 ABM ABM-60 #9222282 待售

ABM ABM-60是一種用於制造VLSI電路的光刻設備。利用電子束將光致抗蝕劑曝光，在基板上形成納米級圖案。電子束通過可編程的偏轉器系統引導穿過基板，可以控制該系統以精確地在x、y、z方向移動光束，以及向基板施加大量電流。這樣就可以精確設計具有極緊公差的特征。ABM-60中使用的光致抗蝕劑是專門為處理高劑量電子暴露而設計的，在制造過程中既耐化學蝕刻，又耐氧化。而且，多種不同的光刻膠材料可以結合使用，創造出廣泛的設計特征。光刻膠也可以使用多種化學處理方法開發，使使用者能夠控制固化時間並製造複雜的形狀。ABM ABM-60還包含一個自動化軟件包，允許用戶將電子束的特征和參數編程到單元中進行處理。這為工業用戶定制光刻提供了一個靈活的平臺，有助於減少循環時間並保證可重復性。此外，ABM-60還具有一個真空室，它具有兩個功能：提供清潔和粒子控制的環境，以及幫助加熱光刻膠。該單元可容納直徑達8英寸、深度達17英寸的基板，使其具備處理大型復雜電路的能力。ABM ABM-60由於其高精度的結果、自動化的軟件和堅固的結構，是制造VLSI電路的理想機器。它經常被用於航空航天和半導體工業中，在這些工業中必須以極高的精確度處理特征。