二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SH-801 #9216766 待售
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ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SH-801是一種最先進的光刻材料自旋塗層光刻系統。它設計用於將聚丙烯酸甲酯(PMMA)、聚羥基和多矽酸鹽基光致抗蝕劑等光致抗蝕劑應用於底物。該單元非常適合光刻工藝,允許在基板上創建復雜和復雜的圖樣。ASSI SH-801是一種全自動機器,能夠產生厚度均勻、電阻率均勻的高質量薄膜光刻層。它具有數字顯示屏和數字計數器,可提供準確且可重復的旋轉速度設置。自動劑量特性允許在沒有人工幹預的情況下精確地給藥光刻膠。該工具由兩個主要組件組成:微處理器控制的自旋控制器和自旋塗層組件。自旋控制器包括一個高性能的扭矩和速度馬達,確保在整個自旋塗層過程中精確和可重復的自旋速度。旋轉塗層組件必須牢固地附著在要施加光致抗蝕劑的基板上。資產可以手動或自動模式操作。手動模式允許用戶設置所需的旋轉速度和劑量速率,以及旋轉器應循環的時間。在自動模式下,模型能夠自行計算達到最優自旋速度和光刻層厚度所需的時間。ADVANCED SPIN Equipment INC SH-801還設計了精確的溫度控制,有助於確保整個基板上均勻的光敏塗層。溫度可調,系統配備真空傳感器,精確測量和調節溫度。SH-801是一種高效可靠的光敏裝置,具有廣泛的應用。它易於使用,可用於在厚度和電阻率一致的基板上創建復雜復雜的圖樣。它適用於各種行業,包括微電子、光學、半導體和數據存儲設備。
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