二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 M1 #293657910 待售

ID: 293657910
晶圓大小: 6"
優質的: 2019
Spin Rinse Dryer (SRD), 6" 2019 vintage.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 M1是一種先進的光刻膠自旋系統,旨在將薄膜光刻膠精確地沈積在半導體基板上。該自旋裝置有一個大型液體容器,用於散裝光刻膠和一個基於卡片的控制機器,使用戶能夠快速準確地在基板上生產光刻膠薄膜,而無需任何體力勞動或錯誤。ASSI SV-702 M1可同時在陶瓷卡盤上容納多達8個基板,提供可重復和可靠的薄膜沈積,並具有多種常用的光刻膠介質。電機和支持硬件單元經過設計和測試,以確保低噪聲、高效運行,並具有多變速控制設置,可用於每個基板,從而實現精確的塗層厚度和均勻的旋轉。光敏沈積工具配有一系列的外圍工具,以協助精密的薄膜沈積。仔細校準溫度控制確保精確的光敏粘度為所需的基板性能。熱調節的蒸氣和基材幹燥設備可以為各種應用提供優化的幹燥時間。該模型還包括一個精確的針頭氣流設備,有助於實現更高的旋轉速度和提高膜均勻性。自動計量軟件預裝,使用戶能夠在光刻沈積過程中快速、輕松地監測薄膜厚度和其他關鍵參數。ADVANCED SPIN SYSTEM INC SV-702 M1還通過一系列用戶定義的參數提供安全聯鎖支持,提醒用戶任何潛在的不當使用或潛在的危險情況。人性化的圖形用戶界面使得各種薄膜沈積參數如自旋速度、溫度和氣流都易於編程和監控。此外,可移動對齊夾具簡化基板放置,從而提高整體旋轉單元精度和精度。SV-702 M1是一種多用途、可靠的光刻自旋機床,其設計保證了最高的精度和精度,同時提供了安全的操作和可靠的薄膜沈積。使用此工具,用戶可以輕松在各種基板上生產具有可重復性能的薄膜光刻膠,而無需任何體力勞動。
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