二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 M2 #293650591 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 M2是為半導體晶片和基板的精密自旋塗層而設計的光阻系統，精確度為亞微米級。該單元包括大型機、前端控制器、上下自旋盤組件、晶圓載體和預置工藝參數的亞微米精度自旋塗層。上部自旋平底鍋精確控制光刻膠高速沈積，即使在具有挑戰性的環境中也是如此。聚乙烯頂盤懸掛在精密軸承組件上，可提供高達0.002mm直徑的平滑旋轉和精度。它與微調步進電機集成，允許精確的旋轉速度和均勻的旋轉塗層。較低的自旋平底鍋設計用於精確傳遞光敏液體。它的三軸設計允許對沈積路徑進行精確、精細的調整，從而能夠精確覆蓋晶圓並實現精確控制。其高精度軸承和先進的後端控制器，使液體的沈積能夠在平面上以一定角度精確調節，對控制光刻膠層的厚度和均勻性都有幫助。晶圓載體的設計是為了安全地保持和運輸晶圓，同時保持其清潔。堅固、輕巧的鋁制框架和四個角棘輪確保晶片牢固地鎖定在適當的位置,並且晶片托架牢固地連接到主機上。精密控制軟件可以方便地設置和調整機器，允許自動化和可重復操作。它具有圖形用戶界面和廣泛的自定義參數,例如自旋速度和自旋方向,以及上下自旋平移尺寸的設置。ASSI SV-702 M2提供了對光刻自旋塗層工藝的精確控制.可實現亞微米精度精密旋轉塗層，並可定制緊參數以達到一致的塗層效果。它是一種經濟高效、可靠、精確的半導體光刻膠工藝應用工具。