二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #293601652 待售
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ID: 293601652
晶圓大小: 2"-6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 2"-6"
Electro-polished stainless chamber
Maximum speed: 2,800 RPM
Rinse and dry time: 0-9999 sec
On-Board N2 Heater
N2 Filter
Anti-static cell
Resitivity Monitor (RM)
SDC-01 Controller
Door seal lock
Thermo sensor
Pressure switch
Human Machine Interface (HMI)
Pre-heat N2 setting
Throughput: 300-2400 Wafer an hour (2")
Uptime: >95%
Option:
Manual door
EPO Emergency off switch.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702是一個最先進的光刻系統,在處理關鍵任務組件時提供無與倫比的精度和性能。這臺機器的設計目的是自動沈積一層可使用光刻技術精確制圖的薄薄的光刻膠。其先進的旋轉電機,集成的晶圓對準特性,以及高分辨率的數字顯示,在自旋塗層過程中準確監控光刻膠的應用。該單元配備了全方位的DI和DC尖塔源,允許完全定制以滿足每個用戶的確切需求。ASSI SV-702提供了一系列功能,可確保無瑕疵沈積和光刻塗層。其中的一個特點是它的精密晶片對準,允許光刻膠在晶片表面的精確定位。這臺機器消除了意外失準的機會,並確保光致抗蝕劑均勻準確地應用於晶片表面。該工具還具有對旋轉速度的卓越控制,允許用戶保持理想的旋轉速度以保持理想的塗層一致性。此特性可確保光刻膠在晶片表面精確均勻分布,從而使塗層厚度精確到1微米以內。此外,ADVANCED SPIN ASSET INC SV-702的設計旨在在整個晶圓表面實現塗層內的卓越均勻性。這是通過使用雙流旋轉電機來實現的。該電動機以最佳速度仔細均勻地旋轉光刻膠,而精密散熱器均勻地分配熱量。這樣可以確保光刻膠溫度保持在一個均勻的水平,從而保證沈積厚度的均勻性。該型號還提供了與各種光刻膠的靈活性和兼容性。這使得用戶可以毫不費力地選擇最適合自己特定應用的光刻膠。SV-702還配備了高分辨率的數字顯示屏,可實現更高的精度和更好的塗層編程可視化。總體而言,ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702是一種最先進的光刻系統,在處理關鍵任務組件時,可為用戶提供無與倫比的精確度和精確度。其先進的特性、廣泛的兼容性和高分辨率的數字顯示使其成為滿足光刻處理需求的理想解決方案。
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